Mae offer sputtering magnetron yn cynnwys y rhannau canlynol yn bennaf:
1. Deunydd targed: Cydran graidd offer sputtering magnetron, fel arfer wedi'i wneud o fetel, aloi a deunyddiau eraill.
2. Siambr Gwactod: Mae angen cynnal amgylchedd gweithredu offer sputtering magnetron o dan amodau gwactod uchel, ac mae'r siambr wactod yn chwarae rôl cynnal gwactod.
3. System Magnetron: Defnyddir y maes magnetig i reoli'r bomio ïon ar wyneb y deunydd targed i achosi sputtering.
4. Ffrâm swbstrad: Fe'i defnyddir i gynnal y deunydd swbstrad sydd i'w brosesu.
5. System wresogi: Mewn rhai achosion, mae angen cynhesu'r deunydd targed a'r swbstrad i reoli'r broses sputtering.
