1. Cyn-driniaeth
- Glanhau swbstrad: Degreasing Ultrasonic + Glanhau Plasma (Pwer 50-200W).
- Clampio a lleoli: Sicrhewch mai'r pellter rhwng y swbstrad a'r ffynhonnell anweddu yw 20-50cm (sy'n effeithio ar unffurfiaeth trwch ffilm).
2. Cam cotio
-Cyn-sputtering: Cyflwyno nwy argon (cyfradd llif 10-50sccm) i gael gwared ar ocsidau ar wyneb y targed.
- Prif ddyddodiad:
-Gorchudd anweddu: Cyfradd 0.1-10NM/s (pŵer trawst electron 5-20kW).
-Sputtering Magnetron: Cyfradd dyddodi 0.01-1μm/min (pwysedd nwy 0.1-1Pa).
3. Ôl-driniaeth
-anelio a chryfhau (200-400 gradd, 1-2 awr) i wella adlyniad ffilm (prawf crafu yn fwy na neu'n hafal i 5N).
