Un. Beth yw "Halogiad Ceudod"?
Nid yw halogiad ceudod yn syml "baw."
Yn ystod y broses PVD, mae wal fewnol y ceudod yn cael ei gorchuddio'n raddol gan wahanol ddeunyddiau:
1. metel sputtered o'r targed
2. Cyfansoddion a gynhyrchir gan nwyon adweithiol
3. Haen dyddodiad cymysg o ddeunyddiau lluosog
Y canlyniad yw: Mae'r "wyneb ceudod metelaidd" gwreiddiol yn trawsnewid yn raddol yn "ffilm swyddogaethol gymhleth."
Dau. Pam mae halogiad yn effeithio ar ollyngiad?
Nid ar y deunydd targed yn unig y mae gollyngiad yn digwydd.
Mae'r ceudod cyfan yn rhan o'r maes trydan a symudiad electronau.
Felly, mae priodweddau wyneb y ceudod yn effeithio'n uniongyrchol ar:
1. Allyriad electron
2. cronni tâl
3. Dosbarthiad maes trydan lleol
Mewn geiriau eraill, mae'r ceudod nid yn unig yn gynhwysydd, ond hefyd yn rhan o'r system rhyddhau.
Trydydd. Y Newid Cyntaf: Allyriad Electronau Eilaidd wedi'i Newid
Mae galluoedd allyrru electronau gwahanol ddeunyddiau yn amrywio'n fawr.
Pan fydd y ceudod wedi'i orchuddio â gwahanol haenau ffilm:
1. Mae rhai ardaloedd yn rhyddhau electronau yn haws.
2. Mae rhai ardaloedd yn allyrru electronau yn fwy anodd.
Canlyniad: Mae dosbarthiad ffynonellau electronau wedi newid.
Pedwar. Yr Ail Newid: Problem Cronni Tâl
Os yw'r haen halogiad yn ddeunydd insiwleiddio neu led-ynysu:
1. Mae tâl wyneb yn cronni'n hawdd
2. ystumio'r maes trydan yn lleol
Bydd hyn yn arwain at:
Gwyriad rhyddhau
Rhyddhad annormal yn lleol
Ansefydlogrwydd cynyddol
Pump. Y Trydydd Newid: Mae'r Llwybr Rhyddhau wedi'i "Ailddiffinio"
Yn wreiddiol, pennwyd y llwybr gollwng gan:
1. maes trydan
2. maes magnetig
3. Strwythur geometrig
Fodd bynnag, ar ôl i'r haen halogi ymddangos:
Mae rhai ardaloedd yn fwy tueddol o gael eu rhyddhau, tra bod eraill yn cael eu "atal."
O ganlyniad, mae'r lleoliad rhyddhau yn symud yn raddol.
Chwech. Pam mae'r broblem "yn ymddangos yn araf"?
Mae dwy nodwedd i halogiad siambr:
1. Natur gronnus: Nid yw'n ffurfio i gyd ar unwaith, ond yn hytrach yn cronni haen wrth haen.
2. Dim-unffurfiaeth: Mae'r gyfradd adneuo yn amrywio mewn gwahanol leoliadau.
Mae hyn yn arwain at: Yr amgylchedd gollwng yn newid yn ddiarwybod.
Saith. Effaith Uniongyrchol ar y Broses
Mae halogiad siambr yn newid y broses ollwng, gan arwain at gyfres o adweithiau cadwyn:
1. Newidiadau mewn Dosbarthiad Plasma
Mae ardal dyddodiad yn symud.
2. Newidiadau mewn Fflwcs Ion
Gall peledu lleol gael ei wella neu ei wanhau.
3. Mewnbwn Ynni Anwastad
Gwahaniaethau yn strwythur y ffilm.
4. Llai o Ailadroddadwyedd Proses
Nid yw canlyniadau gyda'r un paramedrau bellach yn gyson.
Wyth. Camsyniad Nodweddiadol
Mae llawer o bobl yn credu: Cyn belled â bod y deunydd targed yn iawn, ni fydd y gollyngiad yn newid.
Fodd bynnag, y gwir amdani yw: Mae cyflwr y siambr hefyd yn pennu'r ymddygiad rhyddhau.
Mewn rhai achosion, mae'r dylanwad hyd yn oed yn fwy cynnil na dylanwad y deunydd targed.
Naw. Pam mae'r effaith mor amlwg ar ôl glanhau?
Ar ôl glanhau offer:
Mae'r arwyneb yn dychwelyd i'w gyflwr metelaidd gwreiddiol.
Mae'r maes trydan a nodweddion allyriadau electronau yn dychwelyd i gysondeb.
Y canlyniadau yw:
Mae'r llwybr gollwng yn dychwelyd i'w gyflwr cynlluniedig.
Mae'r plasma ail-yn sefydlogi.
Dyma pam: Mae'r broses "yn gwella'n sydyn" ar ôl glanhau.
Deg. Materion Peirianneg Sylfaenol
Yr heriau a achosir gan halogiad ceudod yw:
Nid yw'n "baramedr addasadwy," ond yn "newidyn cudd."
Ar ben hynny:
. Anodd monitro mewn amser real
. Anodd mesur a rheoli
. Ond mae ei effaith yn eang iawn.
Unarddeg. Crynodeb Y rheswm sylfaenol pam mae halogiad ceudod yn newid y gollyngiad yw bod newidiadau mewn priodweddau deunydd arwyneb yn ailddiffinio allyriadau electronau, dosbarthiad gwefr, a strwythur maes trydan, gan felly newid ffurfiant a dosbarthiad plasma.
Yn y pen draw, mae hyn yn amlygu ei hun fel a ganlyn: newidiadau yn y cyflwr rhyddhau a llai o sefydlogrwydd prosesau.
