Mewn peiriannau cotio gwactod sputtering magnetron, gelwir y deunydd sydd i'w orchuddio yn y swbstrad, a gelwir y deunydd sy'n cael ei orchuddio yn darged. Mae'r swbstrad a'r targed yn byw yn y siambr wactod. Mae cotio anweddu fel arfer yn golygu gwresogi'r targed i anweddu cydrannau arwyneb ar ffurf clystyrau neu ïonau atomig. Yna mae'r cydrannau anweddedig hyn yn dyddodi ar wyneb y swbstrad, gan ffurfio ffilm denau trwy broses ffurfio ffilm (strwythur ynys gwasgaredig{5}}strwythur crwydro-twf haen).
Ar gyfer haenau chwistrellu, gellir ei ddeall yn syml fel defnyddio electronau neu laserau ynni uchel i beledu'r targed, gan wasgaru cydrannau arwyneb i glystyrau neu ïonau atomig, sydd wedyn yn dyddodi ar wyneb y swbstrad, gan fynd trwy broses ffurfio ffilm i ffurfio ffilm denau yn y pen draw.
Gweithdrefnau Gweithredu: Rheoli Gweithrediad y Cabinet
1. Trowch ar y pwmp dŵr a'r cyflenwad aer.
2. Trowch ar y prif gyflenwad pŵer.
3. Trowch ar y pŵer i'r pwmp dal a mesurydd gwactod. Gosodwch y mesurydd gwactod i safle V1 ac aros nes bod y gwerth yn llai na 10 cyn symud ymlaen i'r cam nesaf. Mae hyn yn cymryd tua 5 munud.
4. Trowch y pwmp mecanyddol ymlaen ar gyfer gwacáu cyn-. Trowch y pwmp turbomoleciwlaidd ymlaen a'i gychwyn. Newidiwch switsh y mesurydd gwactod i V2 a gwacáu nes bod y gwerth yn llai na 2. Mae hyn yn cymryd tua 20 munud.
5. Ar ôl i ddarlleniad y pwmp turbomoleciwlaidd gyrraedd 250, trowch y gwacáu cyn-i ffwrdd. Trowch y forepump a'r falf gwactod uchel ymlaen i barhau i wacáu. Dim ond ar ôl cyrraedd lefel gwactod penodol y gallwch chi droi ar y mesurydd gwactod uchel ar y dde ac arsylwi ar y radd gwactod. Dim ond ar ôl i'r gwactod gyrraedd 2 × 10⁻³ y gellir troi pŵer y gwn electron ymlaen.
Gweithrediad DEF-6B:
1. Prif Bwer.
2. Pŵer ar yr un pryd ar Electron Gun Control I a Electron Gun Control II: Pwyswch y switsh pŵer ac oedi ar gyfer Rheoli Gwn Electron I. Bydd y goleuadau oedi, pŵer a diogelu yn goleuo. Ar ôl tri munud, bydd y goleuadau oedi ac amddiffyn yn diffodd. Os nad yw'r drws cefn wedi'i gau'n iawn neu os yw'r ras gyfnewid llif dŵr yn camweithio, bydd y golau amddiffyn yn aros ymlaen.
3. pŵer ar y foltedd uchel. Bydd y foltedd uchel yn cyrraedd dros 10KV. Addaswch y cerrynt trawst i tua 200mA. Grid y sgrin yw 20V/100mA, y cerrynt ffilament yw 1.2A, ac mae'r cerrynt gwyro yn amrywio rhwng 1 a 1.7A.
