Egwyddor weithredol:
Y tu mewn i siambr wactod, defnyddir maes magnetig i gyfyngu ar ollyngiad glow, gan achosi i ïonau argon beledu'r deunydd targed ar gyflymder uchel, caiff atomau targed eu gollwng a'u hadneuo ar wyneb y gweithle i ffurfio ffilm denau drwchus-proses a ddosberthir fel Dyddodiad Anwedd Corfforol (PVD).
Nodweddion Offer
Yn gydnaws â gwahanol fathau o dargedau sputtering
Yn cefnogi targedau sputtering magnetron DC, MF, ac RF, yn cynnwys targedau cerameg metel ac ocsid, gan alluogi dyddodiad ffilmiau dielectrig metelaidd ac insiwleiddio.
Chwyldro Swbstrad a Mecanwaith Cylchdro
Mae'r rac darn gwaith yn defnyddio system gylchdroi planedol, gan alluogi'r darnau gwaith y tu mewn i'r ffwrnais i droi a chylchdroi ar yr un pryd, mae hyn yn sicrhau unffurfiaeth trwch ffilm ardderchog ar draws llwyth cyfan y ffwrnais ac yn lleihau amrywiad lliw.
System Triniaeth Cyn-Tymheredd Isel
Wedi'i chyfarparu â ffynhonnell glanhau ïon adeiledig, mae'r system yn peledu arwyneb y gweithle â phlasma cyn ei orchuddio i gael gwared ar halogion olew a haenau ocsid. Mae'n galluogi dyddodiad ffilm tymheredd isel gyda chyn lleied â phosibl o wresogi swbstrad, gan ei wneud yn addas ar gyfer prosesu plastigau sy'n sensitif i wres fel ABS a PC heb achosi llosgi neu anffurfiad.
Cyfluniad uned gwactod annibynnol
Cyfuniad o bwmp turbomoleciwlaidd, pwmp Roots, a phwmp ceiliog cylchdro, gan sicrhau cromlin bwmpio sefydlog.
System rheoli diwydiannol PLC cwbl awtomatig
Gall awtomeiddio prosesau, ryseitiau proses gael eu storio a'u galw'n ôl gydag un clic.
Rheoli Llif Nwy Manwl
Yn defnyddio Rheolyddion Llif Màs lluosog (MFCs) i reoleiddio nwyon adweithiol fel argon, ocsigen a nitrogen yn fanwl gywir, gan ei gwneud yn addas ar gyfer dyddodiad sputtering adweithiol o ffilmiau cyfansawdd ocsid a nitrid.
Diogelu Cydgloi Diogelwch
Yn cynnwys cydgloeon ar gyfer drws y siambr a'r system gwactod, yn ogystal ag amddiffyniadau rhag gorlwytho, prinder dŵr, a methiant pŵer, cau awtomatig ar ganfod anghysondebau i amddiffyn y ffynhonnell darged a'r system gwactod.
Ceisiadau:
Gorchudd Addurnol
Casys gwylio, caledwedd ystafell ymolchi, pennau clwb golff, crefftau, teganau, adlewyrchyddion goleuadau pen modurol, a gorchuddion a botymau ffôn symudol neu offer cartref. Mae'r gallu i gynhyrchu haenau addurnol aur ffug, du metel gwn, du a du, a lliw, yn gweithredu fel dewis ecogyfeillgar, di-lygredd yn lle electroplatio traddodiadol sy'n seiliedig ar ddŵr.
Swbstradau Cydnaws: plastig ABS, gwydr, cerameg, teils, a metelau amrywiol.
Ffilmiau Swyddogaethol
Llwydni ac Offer: Gwisgwch -haenau amddiffynnol ar gyfer torri offer a mowldiau/marw














Manteision
Mae trwch y ffilm yn rheoladwy ac yn ailadroddadwy.
Gall adneuo ffilm o drwch a bennwyd ymlaen llaw yn ddibynadwy, a gall cotio sputtering gael trwch ffilm unffurf ar wyneb mawr.
Mae gan y ffilm adlyniad cryf i'r swbstrad.
Mae rhai atomau ynni uchel yn cynhyrchu gwahanol raddau o chwistrelliad, gan ffurfio haen drylediad ffug ar y swbstrad lle mae'r atomau sputtered ac atomau swbstrad yn asio â'i gilydd.
Paratoi ffilmiau tenau o ddeunyddiau arbennig.
Gellir paratoi ffilmiau cymysg a ffilmiau cyfansawdd trwy sputtering gwahanol ddeunyddiau ar yr un pryd. Gellir sputtered ffilmiau aur ffug TiN hefyd.
Mae gan y ffilm purdeb uchel ac ni fydd y ffilm sputtered yn cael ei gymysgu â chydrannau'r deunydd gwresogydd crucible.
Wedi'i gyfarparu â -ffynhonnell ategol ïon tymheredd isel, gall ffurfio ffilmiau trwy blatio oer ar dymheredd ystafell heb wres, gan arbed ynni a thrydan, a gwella gallu cynhyrchu.
Manyleb:
|
Peiriant cotio sputtering Magnetron |
|||||||
|
Model |
CJ-600 |
CJ-800 |
CJ-1000 |
CJ-1200 |
CJ-1400 |
CJ-1500 |
CJ-1600 |
|
Maint y siambr |
Φ600×800MM |
Φ800 × 1000MM |
Φ1000 × 1200MM |
Φ1200 × 1400MM |
Φ1400 × 1600MM |
Φ1500 × 1500MM |
Φ1600 × 1800MM |
|
Uned wactod |
Uned pwmp tryledu KT400 |
Uned pwmp tryledu KT500 |
Uned pwmp tryledu KT800 |
Uned pwmp tryledu KT630 |
Uned pwmp tryledu KT630 dwbl |
Uned pwmp tryledu KT630 dwbl |
Uned pwmp tryledu KT630 dwbl |
|
System cotio |
Cyflenwad pŵer DC neu amledd canolig, gorchuddio cyflenwad pŵer arbennig ïon ategol |
||||||
|
System chwyddiant |
Mesurydd llif màs |
||||||
|
Dull rheoli |
Llaw neu gwbl awtomatig |
||||||
|
Gwactod yn y pen draw |
5X10-3Pa |
||||||
|
Sylw |
Mae'r paramedrau offer uchod ar gyfer cyfeirio yn unig, ac maent wedi'u dylunio a'u haddasu yn unol â gofynion proses gwirioneddol cwsmeriaid. |
||||||
Tagiau poblogaidd: magnetron sputtering araen peiriant, Tsieina magnetron sputtering peiriant araen gweithgynhyrchwyr, cyflenwyr, ffatri
